Máy cắt laser UV bơm bán dẫn làm mát bằng không khí 355nm

       Máy cắt laser cho cảm biến

1.Tóm lược

Máy cắt điện trở bằng tia laser của Công ty TNHH Công nghệ Vũ Hán Questt ASIA được phát triển và sản xuất đặc biệt cho ngành mạch phim dày và mạch phim mỏng.Cắt nguồn (điều chỉnh điện trở) và cắt chủ động (điều chỉnh chức năng mạch) chủ yếu được sử dụng để cắt với độ chính xác cao của màng mỏng, màng dày, mạch tích hợp lai và các mô-đun điện tử khác nhau, liên quan đến các ngành sau:

l l Điện tử đầu máy

l lSensors

l l Điện tử thông tin liên lạc

l l Ngành quân sự nghiên cứu khoa học

l lMedical

l l Điện tử công nghiệp

l lAerospace

Máy cắt điện trở bằng tia laser do công ty chúng tôi sản xuất được phát triển độc lập từ hệ thống kiểm soát đo lường lõi, hệ thống phần mềm, v.v. và có tất cả các quyền sở hữu trí tuệ độc lập, có thể cung cấp cho khách hàng các giải pháp ứng dụng cắt điện trở bằng tia laser toàn diện.

2.Mô hình thiết bị và hiệu suất

Máy cắt bằng tia laser dòng LT7 là dòng máy cắt bằng tia laser loại cấu hình cao do Wuhan Questt ra mắt.Các sản phẩm dòng LT7 sử dụng tia laser đặc biệt tiên tiến để cắt tỉa kháng tia laser.

Độ chính xác cao của điều chỉnh điện trở

• Toàn bộ máy có độ chính xác điều chỉnh điện trở cao, và độ chính xác điều chỉnh điện trở nhất quán và năng suất cao.
• lLT7 sử dụng tia laze đặc biệt để cắt bằng tia laze, cung cấp tia laze có chất lượng tia cao và độ rộng đường cực nhỏ, và hiệu ứng nhiệt laze nhỏ.
• Chế độ điều khiển chính xác độc đáo, công nghệ khai thác tốc độ biến thiên độc quyền.
• l Một loạt các chức năng cắt kiểu dao điều chỉnh điện trở.

Điều chỉnh điện trở nhanh chóng

• Phần mềm có chức năng điều chỉnh thô và cài đặt điều chỉnh tinh, có thể thiết lập mối quan hệ tỷ lệ giữa điều chỉnh thô và điều chỉnh tinh theo đặc điểm của điện trở, giúp cải thiện hiệu quả tốc độ điều chỉnh điện trở với tiền đề đảm bảo độ chính xác.
• - Thời gian đo tốc độ cao, thời gian đo đơn chỉ 25us.
• - Cơ chế lặp lại bước và độ chính xác cao: sử dụng nền tảng động cơ tuyến tính, tốc độ di chuyển và gia tốc nhanh;nó có thể nhận ra điều chỉnh điện trở một chu kỳ của nhiều mạch đơn vị.
• - Nâng bảng thăm dò tốc độ cao: cải thiện hiệu quả hiệu quả xử lý trong quá trình điều chỉnh điện trở theo chu kỳ của nhiều mạch đơn vị.

Chức năng mạnh mẽ

• lVới chức năng lập trình phần mềm mạnh mẽ trong ngành, nó có thể thích ứng với các điều chỉnh điện trở khác nhau và điều chỉnh chức năng của các mô-đun điện tử, đồng thời dễ dàng thực hiện các nhu cầu đặc biệt của khách hàng và vận hành tự động cao.
• l Ngoài phép đo điện trở và điện áp cơ bản, với các mô-đun đặc biệt bên ngoài, tín hiệu đo có thể là dòng điện, tần số, độ nghịch đảo và các tín hiệu khác.
• l Có thể thực hiện điều khiển tự động theo chương trình của công suất laser, chuyển động, phạm vi đo, v.v.
• lProbe Z-axis, laser tiêu điểm chuyển động điều khiển động cơ tự động trục Z, có thể lập trình.
• - Chức năng cơ sở dữ liệu mạnh mẽ, toàn bộ quá trình sản xuất được ghi lại và có thể theo dõi.
• l Chức năng cảnh báo các sản phẩm không đủ tiêu chuẩn có thể ngăn chặn hiệu quả các sản phẩm không đủ tiêu chuẩn vào quy trình tiếp theo.
• lCác tọa độ định vị được thu thập trong thời gian thực thông qua hình ảnh, dễ vận hành và cải thiện độ chính xác định vị của sản phẩm.

Độ tin cậy và độ ổn định cao

• Các thành phần cốt lõi được nhập khẩu để đảm bảo chất lượng
• - Sử dụng bệ đá granit đặc biệt: Nó có thể làm giảm hiệu quả độ rung quán tính do khởi động, dừng và tăng tốc của bàn làm việc;đồng thời có thể duy trì sự ổn định nhiệt độ của máy.

Chi phí vận hành và bảo trì thấp

• Hiệu quả cao, tiêu thụ năng lượng thấp và tiết kiệm chi phí

Hiệu suất chuyển đổi điện quang của laser đạt 25% và mức tiêu thụ điện năng trung bình hàng ngày thấp hơn 10 độ, bằng 1/10 so với đèn flash truyền thống được bơm laser trạng thái rắn.Sử dụng lâu dài có thể giúp người dùng tiết kiệm rất nhiều năng lượng tiêu thụ, giảm lượng khí thải carbon, tuổi thọ lâu dài, hiệu suất cao Ổn định và không cần bảo trì, giảm thời gian chết.

3.Giải pháp tông đơ laze

• Nguyên tắc cắt tỉa điện trở bằng tia laser

Nguyên tắc của việc cắt điện trở bằng laser là sử dụng chùm tia laser rất nhỏ để chiếu vào các điện trở màng dày và mỏng, và thực hiện cắt các mạch màng dày và mỏng bằng cách làm bốc hơi thân điện trở.Chùm tia laze cắt điện trở màng dày và mỏng theo chương trình do máy tính xác định trước, đồng thời thay đổi giá trị điện trở của điện trở bằng cách thay đổi hình dạng hình học của điện trở màng dày và mỏng.Khi quá trình cắt laser diễn ra, mạch đo thời gian thực sẽ theo dõi sự thay đổi giá trị điện trở của điện trở màng dày và mỏng trong thời gian thực, và giá trị điện trở của điện trở màng dày và mỏng liên tục tiếp cận giá trị điện trở mục tiêu.Đó là, quá trình cắt giảm điện trở bằng tia laser được thực hiện.

Khi điện trở màng dày được sử dụng trong mô-đun điện tử, việc sửa đổi chức năng của mô-đun điện tử có thể được thực hiện bằng cách điều chỉnh sự thay đổi điện trở để tín hiệu đầu ra của mô-đun điện tử cũng thay đổi.

Cắt điện trở bằng laser thay đổi diện tích mặt cắt dẫn điện và chiều dài dẫn điện của thân điện trở, đồng thời có thể cắt bớt thân điện trở dưới giá trị điện trở mục tiêu đến phạm vi chính xác cần thiết.

Bản vẽ phác thảo thiết bị (tùy theo đối tượng thực tế)

(1) Hệ thống ．Laser

Được sử dụng để cắt các điện trở màng dày và mỏng, nó là một "con dao nhẹ" để cắt điện trở.Máy này sử dụng tia laser đặc biệt tiên tiến để điều chỉnh điện trở của tia laser, với chất lượng chùm tia tốt, công suất đỉnh cao và chất lượng vết mổ tuyệt vời.Nhỏ và gọn, làm mát bằng không khí, với hiệu suất và độ tin cậy cao không có ở các loại laser khác.Thiết bị lõi nguồn bơm, pha lê, công tắc Q,… đều được nhập khẩu.

Laser đặc biệt để cắt tỉa kháng tia laser

(2)．Hệ thống định vị tia laze

Nó được sử dụng để xác định vị trí của chùm tia laze và điều khiển đường chuyển động (đường cắt).Áp dụng hệ thống điện kế chính xác.Điều khiển vị trí của chùm tia theo hướng X và Y.Rút ngắn thời gian định vị chùm tia và thời gian cắt, hiệu quả công việc cao, tốc độ cao và độ chính xác cao.

Galvo chính xác

(3) Hệ thống định vị hình ảnh ．CCD

Hệ thống hình ảnh với ống kính chuyên dụng và CCD.Công nghệ hình ảnh đồng trục laser được sử dụng để đảm bảo rằng điểm mục tiêu laser và điểm mục tiêu hình ảnh được phủ lên nhau trong phạm vi quét laser.

Phần mềm nhận dạng hình ảnh nhập khẩu được sử dụng để đạt được định vị hình ảnh tự động thông qua đối sánh hình ảnh.

(4) Nền tảng chuyển động cơ học． Bước và lặp lại

Hệ thống mô tơ tuyến tính chính xác nhập khẩu được sử dụng và thước cách tử được điều khiển vòng kín.Độ chính xác chuyển động cao và tốc độ nhanh, giúp cải thiện đáng kể gia tốc chuyển động.Nó có thể thực hiện tải và dỡ hàng thuận tiện, và điều chỉnh điện trở chu kỳ tốc độ cao của nhiều mạch đơn vị, giúp cải thiện đáng kể hiệu quả sản xuất.Có tốc độ cao và độ chính xác cao ..

(5) Hệ thống đo lường

Phép đo điện trở áp dụng phương pháp hệ thống bốn dây cộng với phép đo dòng điện và phép đo điện áp.Nó có nhiều nguồn dòng điện không đổi có độ chính xác cao và phạm vi tương ứng của mỗi điện trở có thể được kết hợp tự động để có được độ chính xác đo lường tốt nhất.Phép đo điện trở thường sử dụng các đầu dò sau Các đầu dò đặc biệt để hàn bo mạch được sử dụng để đo.Hệ thống đo lường có thể được hiệu chuẩn tự động bằng bảng điện trở tiêu chuẩn bên ngoài.Giao diện GPIB tùy chọn để điều khiển hoặc đo lường thiết bị bên ngoài.

Điều chỉnh chức năng mô-đun điện tử thường cung cấp các phương pháp đo thăm dò đặc biệt cho các đặc tính của sản phẩm.

(6) Hệ thống lấy nét ．Laser

Độ dài tiêu cự của tia laser được điều khiển trực tiếp bởi máy tính.Bằng cách đặt điểm không độ dài tiêu cự và nhập độ dày của phôi, tiêu điểm có thể được tự động nhận dạng.Chức năng này có thể thực hiện việc điều chỉnh điện trở của các loại sản phẩm điện trở màng dày khác nhau, giúp cải thiện phạm vi ứng dụng và hiệu quả của máy điều chỉnh điện trở laser.

(7)． Chuyển động nhấp nháy

Chuyển động của đầu dò được điều khiển bởi một động cơ tốc độ cao, khoảng cách chạy có thể được đặt tùy ý và có thể thực hiện chức năng điều khiển lập trình.

(8) ．Hệ thống phần mềm

· Phần mềm ứng dụng mạnh mẽ dựa trên nền tảng WINDOWS.

· Với chức năng lập trình phần mềm mạnh mẽ trong ngành, nó có thể thích ứng với các điều chỉnh điện trở khác nhau và điều chỉnh chức năng của các mô-đun điện tử, đồng thời dễ dàng thực hiện các nhu cầu đặc biệt của khách hàng và hoạt động tự động cao.

· Chức năng cơ sở dữ liệu mạnh mẽ, toàn bộ quá trình sản xuất được ghi lại và truy xuất nguồn gốc.

· Phần mềm của các sản phẩm không đủ tiêu chuẩn sẽ thay đổi màu sắc và làm nổi bật chức năng nhắc nhở, điều này có thể ngăn chặn hiệu quả các sản phẩm không đạt chất lượng vào quy trình tiếp theo.

· Các tọa độ định vị được thu thập trong thời gian thực thông qua hình ảnh, dễ vận hành và cải thiện độ chính xác định vị của sản phẩm.

· Nền tảng đo lường đa chức năng có thể được thực hiện bằng cách lập trình, và nó có chức năng đo lường và phân loại điện trở.

4. cấu hình chính của một thiết bị duy nhất

4.Thông số kỹ thuật

Hệ thống 1．Laser

• Bước sóng lLaser: 1064nm
• l Công suất laser trung bình: 6W @ 10KHZ (TEM00)
• lKích thước điểm điển hình: 30-40µm
• Chế độ lFocus: điều khiển chương trình máy tính

Hệ thống định vị chùm tia 2．Laser

• Phạm vi quét lLaser: 60mm X 60mm
• Lặp lại độ chính xác định vị: 2,5µm
• Độ phân giải chuyển động chùm tia lLaser: 1µm
• Tốc độ quét tối đa: 7000mm / s
• Phương pháp định vị: định vị có thể lập trình hoặc định vị tự động nhận dạng hình ảnh

3. Hệ thống giám sát hình ảnh

• Phương pháp giám sát: giám sát đồng trục bằng laser
• lCông nghệ phù hợp: công nghệ achromatic, laser và hình ảnh chồng chéo trong định dạng
• l Trường quan sát giám sát: 4-6mm (đường chéo)
• l Nguồn sáng: Đèn LED chiếu sáng

4. hệ thống đo lường

• Phương pháp đo điện trở: thêm dòng điện để đo điện áp

Hệ thống bốn dây, hệ thống hai dây điều khiển chương trình máy tính

• Chế độ đo điện trở l: cài đặt chế độ ba tốc độ, điều khiển có thể lập trình
• Dải đo điện trở: 0,1Ω-100MΩ (độ phân giải 16bit)
• Độ chính xác của phép đo điện trở:

0,1Ω <Rx <100Ω ± 0,02% + 0,5% / Rx

100Ω <Rx <100KΩ ± 0,02%

100KΩ <Rx <100MΩ ± 0,02% + 0,05% * Rx

• l Tốc độ đo điện trở: 25µs
• Độ phân giải điện áp lDC: 0,16µV (dưới điều kiện đầy đủ 10mV)
• Bảng lProbe: 48PIN, bất kỳ định nghĩa nào, tương thích với thiết bị nhập khẩu của ESI
• Chuyển động bảng lProbe: điều khiển chương trình máy tính
• Dải đo điện áp: ± 100mV ~ ± 10V Độ phân giải 16bit (các dải khác là tùy chọn)

5. Máy tính và Hệ thống phần mềm

• lSoftware có thể lập trình, có thể linh hoạt thực hiện hoạt động tự động, đáp ứng điều chỉnh điện trở và điều chỉnh chức năng mạch
• Chức năng lDatabase, tất cả dữ liệu điều chỉnh điện trở có thể được ghi vào cơ sở dữ liệu để lưu trữ, với khả năng truy xuất nguồn gốc tốt
• lCó thể điều khiển điện trở bằng điều khiển một chip thủ công và nó cũng có thể được điều chỉnh tự động bằng ma trận liên tục (xử lý chip liên tục)
• l Điều chỉnh điện trở chính xác có thể được thực hiện bằng cách thiết lập phương pháp điều chỉnh điện trở điểm laser
• lTùy theo sự khác biệt của giá trị điện trở ban đầu, có thể chọn các thông số điều chỉnh điện trở khác nhau để thực hiện điều chỉnh điện trở

6. Hệ thống chuyển động cơ học từng bước và lặp lại

• Chế độ di chuyển: hệ thống chuyển động động cơ tuyến tính
• Phạm vi chuyển động: 300mm * 300mm
• Kích thước nền gốm tối đa: 150mm * 150mm
• Độ phân giải lMotion: 1µm
• Lặp lại độ chính xác: ± 1µm
• Độ chính xác định vị: ± 10µm
• Tốc độ tối đa: 1000mm / s (không tải)
• Tăng tốc chuyển động: 1.5G

7. Các chỉ số kỹ thuật khác

• l Phương pháp làm mát: làm mát bằng không khí
• l Điện áp nguồn: 220V AC Áp suất không khí: <0,4MPa Công suất tiêu thụ toàn bộ máy: 2500W